LAR
| 成分 |
|
纯氩 |
高纯氩气 |
单位 |
| 氩气(Ar) |
≥ |
99.99% |
99.999% |
%V |
| 氢气(H2) |
≤ |
5 |
0.5 |
ppmv |
| 氧气(O2) |
≤ |
10 |
1.5 |
ppmv |
| 氮气(N2) |
≤ |
50 |
4 |
ppmv |
| 甲烷+一氧化碳+二氧化碳(THC) |
≤ |
5+5+10 |
1 |
ppmv |
| 水份(Water) |
≤ |
15 |
3 |
ppmv |
HP O2
| 成分 |
|
工业氧气 |
高纯氧气 |
单位 |
| 氧气（O2） |
≥ |
99.2% |
99.999% |
%V |
| 氢气（H2） |
≤ |
- |
0.5 |
ppmv |
| 氩气(Ar) |
≤ |
- |
2 |
ppmv |
| 氮气（N2） |
≤ |
- |
5 |
ppmv |
| 二氧化碳（CO2） |
≤ |
- |
0.5 |
ppmv |
| 总碳（THC） |
≤ |
- |
0.5 |
ppmv |
| Water(水) |
≤ |
无游离水 |
2 |
ppmv |
N2O
| 项目名称 |
单位 |
|
指标 |
| 笑气 N2O（一氧化二氮） |
ppm（m/m） |
≥ |
99.5 |
| 氢气（H2） |
ppm（m/m） |
≤ |
0.5 |
| 氧气加氩气（Hydralysable fluoride） |
ppm（m/m） |
≤ |
1 |
| 氮气（N2） |
ppm（m/m） |
≤ |
1 |
| 水（H2O） |
ppm（m/m） |
≤ |
1 |
| 总碳烃化合物THC(CH4) |
ppm（m/m） |
≤ |
0.5 |
| 一氧化碳（CO） |
ppm（m/m） |
≤ |
0.5 |
| 二氧化碳（CO2） |
ppm（m/m） |
≤ |
0.5 |
| 氨气（NH3） |
ppm（m/m） |
≤ |
1 |
| 氮氧化合物（NOX） |
ppm（m/m） |
≤ |
1 |
CO2
| Impurity(非组分) |
Specification(标准) |
| Oxygen(氧) |
≤20 ppmv |
| Nitrogen(氮) |
≤10 ppmv |
| Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤10 ppmv |
| Total Hydrocarbon(总碳) |
≤20 ppmv |
| Hydrogen(氢) |
≤10 ppmv |
| Water(水) |
≤20 ppmv |
|
| |
|
